* Betreuung der internen und externen Messaufgaben inklusive Erstellung von Mess- und Prüfstrategien zur Bewertung der physikalisch-technischen Effekte der Elektronenstrahl-Lithographie sowie deren wissenschaftliche Auswertung und Korrelation zu elektronenoptischen Geräte- und Umweltparametern.
* Entwicklung von geeigneten Messstrategien zur Steuerung der Messgeräte sowie zur Auswertung und Analyse von Messdaten.